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半导体超晶格属性的高分辨率X射线衍射研究-光子学报
31 8 Vol3 1 N o8
2002 8 ACT A PH OT ONI CA SINICA August 2002
X
1 2 1, 2
张党卫 张景文 侯洵
( 1 , 710069)
( 2 , 7 1006 8)
详细阐述了低维半导体材料的X 射线衍射的动力学理论和运动学理论从 木- 陶
平( T-T ) 方程出发, 基于波动光学原理, 推导出任意结构的多层膜的X 射线衍射振幅的递推
关系式并编写X 射线衍射的程序, 分别用动力学和运动学衍射理论模型模拟了20 层
GaA lAs GaA s 超晶格的X 射线衍射结果, 得到超晶格样品的结构参量
X 射线衍射, 低维半导体, 超晶格, 动力学理论, 运动学理论, 计算机模拟
0
, , PD x dD/ dx
1~ 5
, x du/ dx
( , , ) , T-T - D
0
, D T-T
h
,
X- , T-T
,
(AF M) ( ST M ) , i( / ) D 0/ s0 = p - hDh
, , i( / ) D / s = p D - 2 D (1)
h h h 0 h h
6~ 10
, X , s s
0 h
, k k , p
0 h
X , p = 1, p = cos ( 2B) , h
, 20 GaAl GaAs X ,
,
2 2
h= (2k0h+ h )/ 2K (2)
1
,
1962 , ( T akagi) 2 2
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