mems微电容式传感器的传感特性研究 study on sensing characteristics of micro capacitive sensor based on mems.pdfVIP

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2017-09-05 发布于上海
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mems微电容式传感器的传感特性研究 study on sensing characteristics of micro capacitive sensor based on mems.pdf

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mems微电容式传感器的传感特性研究 study on sensing characteristics of micro capacitive sensor based on mems

第22卷第10期传感技术学报 V01．22No．10 CHINESE JOURNALOFSENSORSAND 2009年10月 ACTUATORS 0ct．2009 on ofMicro onMEMS’ Characteristics SensorBased StudySensing Capacitive WANG Qingminl，YANGYaoen弘，SUMubia01．LIUYuhon91 andControl Institute，ShijiazhuangRailwayInstitute，Shijiazhuang050043，China；、，1·StructuralHealthMonitoring Institute 050041，C^iM ／、互ShijiazhuangofRaih．oayEngineering，Shijiazhuang atthe oftraditionalsensorforstructuralhealth fora time， Abstract·Aimingdisadvantage 10ng monitoring anew of micro sensorbasedonMEMSis staticand charac— type capacitive developed．The sensing dynamic teristicsare in above in and resultsshowthatthe is analyzedtheory comparedexperiment．The linearity 0．999％F．Sunder is andthe is1．43％ loading-unloadingcycles，thesensitivity6．9840tLe／kNrepeatability F．S；the charactersiSaswellastraditionalaccelerometer． dynamicsensing words：MEMS Key sensor；staticsensingcharacteristics；dynamicsensing EEACC：7230；7310K MEMS微电容式传感器的传感特性研究* 王庆敏1，杨要恩孙，苏木标1，刘玉红1 ／1．石家庄铁道学院，河北省大型结构健康诊断与控制重点实验室，石家庄050043-、＼2．石家庄铁路工程职业技术学院机电系，石家庄050041 ／摘要：针对传统的传感器无法进行长期健康监测的不足，研发