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SEMATECH Provisional Test Method for Pressure （SEMATECH临时测试压力的方法）
SEMATECH Provisional Test Method
for Pressure Cycle Testing Filter
Cartridges Used in UPW Distribution
Systems
SEMATECH
Technology Transfer-STD
SEMATECH and the SEMATECH logo are registered service marks of SEMATECH, Inc.
© 1996 SEMATECH, Inc.
SEMATECH Provisional Test Method for Pressure Cycle Testing Filter
Cartridges Used in UPW Distribution Systems
Technology Transfer #-STD
SEMATECH
June 19, 1992
Abstract: This test method provides a standardized method for determining the pressure cycle fatigue
characteristics of cartridge filters. It can be used to verify mechanical pressure resistance of filter
cartridges, to confirm that a filter cartridge can withstand exceptional conditions of use, and to
comparatively qualtify the loss of mechanical strength due to exposure to exceptional conditions.
This document is in development as an industry standard by Semiconductor Equipment and
Materials International (SEMI). When available, adherence to the SEMI standard is recommended.
Keywords: Ultrapure Water Distribution Systems, Testing, Filters, Fatigue Tests, Pressure Measurement
Authors: Jeff Riddle
Approvals: Jeff Riddle, Project Manager
Venu Menon, Program Manager
Jackie Marsh, Director of Standards Program
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