一种便携式光学表面轮廓仪-光学仪器.PDF

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2017-08-29 发布于天津
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一种便携式光学表面轮廓仪-光学仪器

第卷第期光学仪器年月文章编号一种便携式光学表面轮廓仪张瑜陈宇琪陈磊南京理工大学电子工程与光电技术学院江苏南京金智视讯技术有限公司江苏南京摘要研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪分析了短相干光干涉显微镜相移干涉技术实现了基于该项技术的光干涉显微系统采用光路集成化的设计方法实现了一体化轮廓仪光路集成优化了机械三维调整测量台实现了可用于大小口径元件表面测量的正置倒置两种测量模式测试结果表明仪器的粗糙度测量精度为重复性误差优于横向分辨率优于关键词短相干光相移干涉表面轮廓干涉显微镜粗糙度中图分类号文献标志码