发光多孔硅表面微结构及其晶格畸变的试验研究.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 年 月 光多孔硅表面 构 其晶格畸 的实验 究 发 微结 及 变 研 ‘ 周咏 , 金亿鑫 “ ’ 中国科学院 卜海技术物理研 究所 海, , “ , , 中国科学院长春物理研究所 长春 不 和 用 电化 方法制备了 发尤 孔硅 发光 孔硅 用 射线双 晶衍射对两 多孔 摘 要 学 多 多 类 面 和 , 两 硅表 进行 了微结构分析 晶体质量表征 实验表明 类多孔硅 的微结构间存在着很夭 差 不 面 曲 可 , 别 发光 孔硅表 对 射线 的双晶衍射摇摆 线 解叠成两个峰 它们分别来 自样品 多 了 和 , 而 曲 , 不可 层 单晶硅衬底 发光 孔硅对 射线 的双 晶衍射摇摆 线呈高斯对称分布 解 多 多 不 面 , 重 , 面 下 发光多孔硅 比 发光多孔硅表 晶体质量差 且 电化学 蚀越严 表 晶体质量 降 叠 腐 也越严重 阳 关键词 机氧化 发尤 多孔硅 射线双 晶衍射 晶体质量表征 引言 , 、 、 ! ’ 现多孔硅 以后 人们对多 硅的电 学 微 构 形成机 了 量的 年 发 孔 化 制备 结 制等做 大 ’ , 究