MKS 1179A多用途的质量流量控制器.PDFVIP

MKS 1179A多用途的质量流量控制器 MKS 1179A 系列多用途质量流量控制 器可以在各种应用行业中用于测量和控制 气体的流量，1179A 质量流量控制器提供 了全量程从 10sccm 到 20slm,最低可至 0.2sccm 提供了快速的、可重复流量控制 的解决方案，当连接到一个配套的压力显 示器时，它也可以被用作压力控制器。 在当今的市场上，1179A 可以直接替 换绝大多数的其他品牌的质量流量计，其 标准的 3 英寸底板使 1179A 可直接安装于 现存的气体管路中而无须任何的修改，电 气的接头也是和其他产品具有相同的 PC 卡槽或“D”型接头，相同的针脚定义，信 号和功能，因此不需要进行电线和连接器 的重新修改。同时，1179A 是和 MKS 的流量控制器电源和显示单元以及其他生 产厂商的显示单元所兼容的，数字通讯模式包括 Devicenet 和 RS485. 产品特点： ● 专利技术的传感器设计提供了绝伦的零点稳定性 ● 10sccm 到 20slm 的量程范围内确保了精确和可重复的流量测量和控制 ● 模拟和数字（RS485 和 Devicenet）都可以提供 ● 在模拟通讯下，全量程精度的 1% ● 在数字通讯下，读数值精度的 1% ● 快速的启动时间缩短了生产的停顿时间 ● 和早期的 MKS 的 MFC 和电源读数单元兼容 ● 严格的测试和设计，包括 MTBF 分析和 STRIFE 测试保证了长期的稳定性 ● 不锈钢的表面处理、洁净室要求的处理，和最少的橡胶密封件使用保证了在 清洁工艺中的使用要求。 ● 1 年质量保证保证了质量和客户的满意度 ● 符合欧洲 CE，EMC 标志 综 述： MKS 1179A 利用了必威体育精装版设计的热传感器，一个快速响应的比例阀和控制电 路整合于一个精巧的工业化标准的流量计内。不锈钢的表面处理光洁度小于 32 微英寸和最少的橡胶密封材料的应用使其应用于更多的洁净环境中。控制阀门 一般是关闭的。对于可能偶然发生的事故，1179A 能抵御 500Psig 的防损坏压 力和 1500Psig 的破坏试验压力。 对于 1179A 的电源要求是很小的：在操作中±15VDC 的输入仅仅消耗 100ma，快速的启动时间（小于 2 分钟）使 1179A 大大减小了 MFC 在替换过程中造成宝贵的 停顿时间。 通过了严格的 MTBF 分析 和 STRIFE 测试， 1179A 的性 能和可靠性可见一斑。1179A 符