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磁场在直流三极溅射沉积 中 的 应 用 相 瑜 才 唐 山市 机 械 局 机械 研 究所 摘 要 作 者从 电磁 学基 本理论 出发 , 阐 明 了正 交磁 场 对提 高直 流三 极 城射 沉 积 率 。 的工作 原理 并介 绍 了正 交磁 场 的施加 方 法 和 一 型 正 交 电磁 场 直 流 三 。 极 溅针 炉 的特 性 , 它 所 沉 积 的 涂层 质量 及 其初 步 的应 用 效 果 前 言 、 一 些工业 发达 的国家 已将超硬 的碳 化物 氮化物或氧化物等材料涂 复于 刀 具, 模具和某 。 些耐磨件上 , 使其寿命大 幅度延长 , 经济效益非常显著 近年来, 国 内也迅速地开展 了这方 。 面 的工 作, 进展速度快, 效果显 著 目前 , 这 方 面 的涂膜方法 有化学气相 沉 积 和 物理真 空沉积 两类 。 , , , , 对 于 法 起步早 工 艺较 为成 熟 但是 它 的最 大缺 点是 工作温度 高 。 。 ℃ , 极 易使一般材料 的工件变质 或变 形, 所 以, 其应 用 范 围受到很大 的限制 。 法 的优 点之一是工 作温度低 沉积