非球面模具超精密补偿加工技术.pdf

第 卷 第 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 年 月 非球面模具超精密补偿加工技术 尹韶辉 李海峰 陈逢军 王 宇 湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心 长沙 摘 要 为了实现非球面模具的超精密数控加工研究了加工轨迹算法原理及整个软件系统的结构与实现提出了 基于表面粗糙度均匀化的工件进给速度控制法 分析了工具磨损误差和工件形状误差 重点提出了误差补偿方法 同时也讨论了采用砂轮平行磨削法时避免加工干涉的方法软件能生成高精度的加工与补偿加工数控程序文件 最后 在一台镜面磨床上实验加工直径为 的碳化钨透镜模具 经过多次补偿加工后 获得了谷峰值为 误差均方根为 的表面形状精度 关键词 超精密加工平行磨削法形状误差补偿非球面光学模具数控编程软件 中图分类号 文献标志码 文章编号 非球面的超精密加工技术研究一直是制造领域的 可分为两方面 一是机床硬件的开发 二是具有补偿功 热点和难点 从 世纪 年代以来 国内外有关专家 能的高精度数控软件系统的开发 目前国外的大部分 投入了大量的人力物力在美国 日本欧洲等发达国 硬件都能够达到实际应用要求国内相关企业院校也 家已经有了成熟的超精密磨削装备及工艺研究成果 在积极研究 对于软件部分国内还停留在理论方 而我国超精密磨削技术还处在起步阶段 还没有真 面的研究自主开发的能够非常成功地进行非球面超 正投入实际生产应用的超精密机床产生 在工艺方面 精密补偿加工的软件还非常欠缺 因此开发产品的软