GB/T 27760-2011利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法.pdf

ICS19．020 N04 圆目 中华人民共和国国家标准 27760—201 1 GB／T 1 利用Si(11)晶面原子台阶对原子力 显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 Testmethodfor the ofanatomicforce at calibratingz—magnification microscope subnanometer levels Si(111)monatomic using steps displacement 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局青寿 中国国家标准化管理委员会覆111 ASTMEEE253027760--2011 methodsmeasurementusemeasurement--PartPartGuideaxefltoandofofofoftruenessforce3．13．2thetheforfor27760--20estimatesestima-surfaceISOinin11 433233335 uuuun2550757777771∞……… 48．2．127760--2011 27760--201 1 GB／T 知样品。如果校准的目的仅仅是确定标定仪器的标度，则8．2．1中a)项的1)分量可忽略。 8．2．3将以上数值求方和根即得到在第4部分中已经给出的扩展不确定度大概为7％(包含因子女=2)。 9不确定度 9．1 参考值312pm所引起的相对标准不确定度1．9％，以及其他与特定仪器相联系的、应由使用者评估的 不确定度分量，所有分量求方和根即得到合成相对标准不确定度。 是，随着时间的延长，由于空气中的湿气和氧气的存在，Si(111)表面会退化，或探针会磨损，信噪比会降 低到不可接受的程度时，就需要更换新的样品或探针。 10其他可能的方法 第7部分所描述的步骤不仅限于Si(111)原子台阶样品，类似的测量步骤也适用于由不同材料制 成、具有不同台阶高度的晶格台阶的样品，例如SiC台阶”43。仪器的线性也可以用2种不同的原子台 阶高度样品进行检查。 附录A (规范性附录) Si(111)晶面原于台阶样品的制备过程 A1概述 Si(111)晶面原子台阶样品可通过至少一种商业来源获取，也可由两种制备方法获得。一种为在超 高真空腔内热处理法(参见图A1)，另外一种为湿化学刻蚀法。为进行台阶高度校准，应优先选择前一 种方法．因为前者得到的表面质量较好。 }位*m* 几㈠㈠幽■■● 0 50 o 75 1∞ 热处理法获得的样品表面形貌围 A2平均台阶宽度 平均台阶宽度由硅片偏离(111)晶面的错切角决定，具体关系为：