Cr掺杂对GLC薄膜结构及其摩擦学性能的影响-摩擦学学报.PDF

第 猿缘 卷摇 第圆 期 摩 擦 学 学 报 灾燥造猿缘摇 晕燥圆 圆园员缘 年猿 月 栽则蚤遭燥造燥早赠 酝葬则袁圆园员缘 阅韵陨院员园援员远园苑愿辕躁援贼则蚤遭燥造燥早赠援圆园员缘援园圆援园员圆 悦则掺杂对郧蕴悦薄膜结构及其摩擦学性能的影响 员袁圆 员鄢 圆 员 员 王佳凡 袁王永欣 袁陈克选 袁李金龙 袁郭摇 峰 渊员援 中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室袁浙江宁波摇 猿员缘圆园员曰 圆援兰州理工大学材料科学与工程学院袁甘肃兰州摇 苑猿园园缘园冤 摘摇 要院采用磁控溅射方法制备类石墨碳膜渊郧蕴悦冤及掺杂金属悦则的类石墨碳膜渊郧蕴悦原悦则冤袁利用场发射扫描电子 显微镜渊杂耘酝冤尧拉曼光谱仪渊砸葬皂葬灶冤尧载射线光电子能谱仪渊载孕杂冤尧纳米压痕仪等测试技术对比分析两薄膜样品的 结构及机械性能袁利用哉酝栽原猿多功能摩擦磨损试验机考察其在大气尧去离子水尧发动机油猿种环境下的摩擦学性 能援结果表明院本实验参数下制备的类石墨碳膜中袁悦则的掺杂促使了类石墨碳膜中泽责圆 杂化键的形成袁降低了郧蕴悦薄 膜的硬度及弹性模量袁但在猿种不同环境下均使得类石墨碳膜的摩擦学性能得到明显改善援其中水介质的存在可明显 降低类石墨碳膜的摩擦系数袁而油润滑介质虽未使得其摩擦系数明显降低袁但其摩擦曲线波动性及磨损率均最小援 关键词院磁控溅射曰郧蕴悦膜曰悦则掺杂曰摩擦学性能 中图分类号院栽匀员员苑援猿 文献标志码院粤 文章编号院员园园源原园缘怨缘渊圆园员缘冤园圆原园圆园远原园愿 耘枣枣藻糟贼燥枣悦则阅燥责蚤灶早燥灶贼澡藻酝蚤糟则燥泽贼则怎糟贼怎则藻葬灶凿栽则蚤遭燥造燥早蚤糟葬造 孕藻则枣燥则皂葬灶糟藻泽燥枣郧则葬责澡蚤贼藻原造蚤噪藻悦葬则遭燥灶云蚤造皂泽 员袁圆 员鄢 圆 员 员 宰粤晕郧允蚤葬原枣葬灶 袁宰粤晕郧再燥灶早原曾蚤灶 袁悦匀耘晕运藻原曾怎葬灶 袁蕴陨允蚤灶原蕴燥灶早 袁郧哉韵云藻灶早 渊员援 运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠燥枣酝葬则蚤灶藻晕藻憎酝葬贼藻则蚤葬造泽葬灶凿砸藻造葬贼藻凿栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁在澡藻躁蚤葬灶早运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠 燥枣酝葬则蚤灶藻酝葬贼藻则蚤葬造泽葬灶凿孕则燥贼藻糟贼蚤燥灶栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁 晕蚤灶早遭燥陨灶泽贼蚤贼怎贼藻燥枣酝葬贼藻则蚤葬造栽藻糟澡灶燥造燥早赠驭耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁悦澡蚤灶藻泽藻粤糟葬凿藻皂赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻泽袁晕蚤灶早遭燥猿员缘圆园员袁悦澡蚤灶葬 圆援杂糟澡燥燥造燥枣酝葬贼藻则蚤葬造杂糟蚤藻灶糟藻葬灶凿耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁蕴葬灶扎澡燥怎哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁蕴葬灶扎澡燥怎苑猿园园缘园袁悦澡蚤灶葬 粤遭泽贼则葬糟贼院郧则葬责澡蚤贼藻原造蚤噪藻糟葬则遭燥灶渊郧蕴悦冤枣蚤造皂葬灶凿早则葬责澡蚤贼藻原造蚤噪藻糟葬则遭燥灶枣蚤造皂凿燥责藻凿憎蚤贼澡悦则渊郧蕴悦原悦则冤憎藻则藻枣葬遭则蚤糟葬贼藻凿 泽怎糟糟藻泽泽枣怎造造赠怎泽蚤灶早皂葬早灶藻贼则燥灶泽责怎贼贼藻则蚤灶早贼藻糟澡灶蚤择怎藻援 栽澡藻泽贼则怎糟贼怎则藻葬灶凿皂藻糟澡葬灶蚤糟葬造责则燥责藻则贼蚤藻泽贼澡葬贼郧蕴悦葬灶凿郧蕴悦原悦则枣蚤造皂泽 憎藻则藻糟澡葬则葬糟贼藻则蚤扎藻凿遭赠枣蚤藻造凿藻皂蚤泽泽蚤燥灶泽糟葬灶灶蚤灶早藻造藻糟贼则燥灶皂蚤糟则燥泽糟燥责赠袁砸葬皂葬灶泽责藻糟