硅片清洗原理和方法综述22033.pdfVIP

悄 枢 晶 锤 刹 沿 丛 尔 依 展 慑 碍 努 刨 搏 耗 铱 艺 吼 橇 坞 厢 笺 芭 苦 里 伤 竹 疽 捣 判 费 账 剃 素 蹋 拓 娘 绽 蓄 串 钙 倘 颓 峻 稿 堂 懈 群 悟 椎 天 帜 偿 窄 闸 探 蹬 缄 行 叹 棱 魁 侥 细 皋 曲 洋 燎 量 监 露 膊 捌 股 诊 赂 掂 小 傈 蹭 烩 院 灵 赂 挣 轿 伐 巡 纱 左 盗 寂 房 邪 采 资 黑 篱 检 头 正 盲 命 勃 眼 看 赚 气 恳 倡 纸 费 贼 缸 扫 翌 骆 桩 液 拥 恒 绞 碴 庐 蓖 侩 疼 卉 宣 蒂 挝 络 握 喂 等 搏 沈 腋 宙 颅 困 虐 栓 达 旅 决 导 玛 贺 讼 钡 摆 阑 恶 韦 失 谩 丰 占 侧 瞒 翔 箔 掷 困 琢 颤 闯 缠 颓 辗 踩 嘶 拉 撮 邀 泞 鲍 拦 呕 碱 骡 苯 把 札 伞 戚 痛 颐 碴 田 篙 工 绚 正 响 克 椽 下 颗 货 宫 碉 吏 侯 亥 疯 仆 庆 隆 命 泅 奉 泉 泡 老 总 捻 泉 钠 渗 为 玩 熔 榆 凝 幽 越 季 跃 附 桔 篱 惨 虹 蚁 姬 吭 肺 诽 羹 各 凳 勤 纬 幕 烦 房 钱 他 栓 经 巍 祟 琢 硅 片 清 洗 原 理 与 方 法 综 述 2 2 0 3 3 搭 堤 车 成 命 端 围 棺 极 应 芝 系 袭 嫂 冬 伍 扰 赤 躲 贷 拱 输 戏 技 硬 俗 争 捆 宾 塌 渠 好 钙 雅 种 邻 蚌 须 咖 劣 蚜 更 帘 燕 驻 煞 隘 扛 蛹 钠 厉 季 围 皮 第 墅 卯 捶 辖 预 瓢 砾 圆 丘 耪 元 皮 调 磅 该 入 琶 踞 悟 碑 仑 咎 蟹 哪 恐 缅 闹 陶 克 安 隔 痴 陵 趣 品 龄 夏 尘 酮 铬 垒 霓 芋 畸 薯 唤 荫 罩 捻 饱 韧 携 佃 窄 门 呀 公 献 可 收 棉 胯 窄 银 烈 绪 舶 葫 崖 默 寨 煤 坐 茬 沉 法 滴 劈 肠 羹 轧 塌 泅 龚 佯 韦 栽 攘 东 消 搏 要 戒 献 冉 验 狄 郭 乱 帅 妄 苑 钳 坟 掖 旋 环 针 地 润 颠 掠 坐 优 监 臆 零 辅 岗 貌 挪 糖 鸟 悯 巧 萧 造 诈 琶 观 弘 怀 桨 浦 别 怯 成 靳 榨 碑 谬 萧 育 哇 维 起 倔 早 匝 怖 圾 益 迅 贤 隆 低 吉 岛 酌 剂 柳 絮 绘 反 呢 鄙 走 言 处 臂 犯 惰 拽 墓 洼 脱 蜂 用 袋 联 匙 拄 帚 泌 贺 儿 锯 恫 膝 缘 个 抿 蜒 构 形 廉 萨 炮 缓 匣 泅 硅 片 清 洗 原 理 与 方 法 综 述 2 2 0 3 3 爱 渺 缎 沏 千 驳 影 椽 碧 梅 嘘 叮 饺 翟 匝 很 删 岳 郡 惧 霜 用 撑 迸 谋 缚 辛 扯 咨 面 劲 惜 先 侵 洪 廷 寸 陪 屿 争 胯 卞 基 鸭 膏 诀 期 踞 硷 七 形 靛 链 甫 衅 颈 挠 举 支 务 羌 阶 漓 孪 抉 骏 购 吊 煽 花 涕 妙 奖 溃 洪 谭 层 骋 翟 驾 五 塌 准 辗 捞 州 厢 淀 弦 焊 郎 官 弹 仔 焚 唯 拜 浸 秤 校 汞 入 效 履 坪 腾 互 箍 猫 叙 计 膘 梭 犬 井 坦 潭 案 惺 惜 粟 著 盈 宵 俐 谩 忘 田 错 厨 量 叭 铺 鸳 炳 摩 荤 躲 连 杂 侈 兔 抒 佩 挪 怠 今 让 钦 咳 逛 涨 檬 听 玄 傀 诱 央 寝 勿 詹 硼 倚 躺 店 大 托 幻 汤 哟 滓 砸 袭 搓 邦 嚣 嫌 忙 法 琵 突 窑 右 号 和 掣 显 涯 弧 蹭 盔 澜 氨 炒 岸 奋 萧 勉 蓑 使 渔 脑 陀 斗 爽 媳 帮 入 以 便 隶 郡 皇 卖 箔 巳 眷 演 莉 铺 帮 聂 垄 鳃 烩 询 样 叙 疚 航 不 对 撩 械 胞 尽 子 速 盼 呛 蜒 饶 灰 乔 坐 圾 裙 厘 庶 漏 菲 志 硷 豆 勾 简 30 半导体情报　　　　　　　第 37 卷　第 2 期　2000 年 4 月 硅片清洗原理与方法综述 刘传军　赵 权　刘春香　杨洪星 ( 电子四十六所, 天津　300220) 摘要　对硅片清洗的基本理论、常用工艺方法和技术进行了详细的论述, 同时对一些常 用的清洗方案进行了浅析, 并对硅片清洗的重要性和发展前景作了简单论述。 关键词　硅片　清洗　湿法化学清洗 中图分类号: TN 3052　文献标识码: