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淀积在不同小倾角蓝宝石衬底的n型GaN的研究-物理学报
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 2( % $##) % ， ， ， SX= 02( /X 0% 5M_= $##) （ ） ###:’$)#]$##)]2( #% ]$1%%:2 5RY5 NW^3JR5 3J/JR5 $$##) RA, 0 NA@\ 0 3XI 0 淀积在不同小倾角蓝宝石衬底的 型 的研究! ! #$ ! 邢艳辉 韩 军 邓 军 李建军 沈光地 （北京工业大学电子信息与控制工程学院，北京 ##$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $## $ ’ $##( ) $ 采用金属有机物化学淀积技术在不同倾角（— ）的蓝宝石衬底上外延 型 通过原子力显微镜观察到 #* # +’* , -./ 0 型 均呈台阶流生长模式， 和 倾角衬底的 型 表面台阶朝向相同、分布均匀，明显地看到在 倾 , -./ # +$* # +’* , -./ #* 角衬底的 型 表面由台阶重构直接导致的台阶朝向随机分布、疏密不匀的形貌 电子背散射分析表明，在 倾 , -./ 0 #* 角衬底的 型 外延层的应力随外延厚度增加而增加，而 和 倾角衬底的 型 外延层的应力没有明 , -./ # +$* # +’* , -./ 显的变化 电学和光学特性研究表明， 和 倾角衬底的 型 有较高的电子浓度和较低的黄光带与近带边 0 # +$* # +’* , -./ 强度之比0 关键词：金属有机物化学淀积，氮化物，原子力显微镜，光致发光 ： ， ， %’’ 1(22 11/ (22 的蓝宝石衬底上外延, 型-./ 的性质，这对理解在 + 引 言 , 型-./ 上生长多量子阱结构的K9L 的发光特性 也是十分有意义的 因此，本文采用金属有机物化学 0 ， 和 等氮化物半导体材料可用于制 气相淀积（ ）方法生长 型
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