CaOSnO2气敏薄膜最佳掺杂含量的理论计算.pdf

第 4 期 26 真　空　　VACUUM 　　　　　　　　　　　　　　　　　　2002 年 8 月 CaO - SnO2 气敏薄膜最佳掺杂含量的理论计算 范志新, 潘晓春, 潘良玉 (河北工业大学文理学院, 天津　300 130) 摘　要: 本文介绍一个最佳掺杂含量表达式。应用此表达式定量计算了CaO SnO 2 薄膜乙醇气敏元件材料的 最佳掺杂含量。定量计算的结果与实验数据基本相符合。 关键词: 气敏元件; 晶体结构; 制备方法; 最佳掺杂含量; 理论计算 中图分类号: O 659. 3 1; O 484; TN 304; TB 43　　文献标识码: A 　　文章编号:(2002) Theoret ica l ca lcula t ion of opt im um dop in g con ten t f or CaO - SnO 2 ga s sen sor f ilm s , , FAN Zh i x in PAN X iao chun PAN L ian g yu (S ch ool of A r ts S c ience, H ebe i U n iv ers ity of T ech nology , T ianj in 300 130, Ch ina ) A bstract: A n exp re ssion o f op t im um dop ing con ten t is in t rodu ced in th is p ap er an d u sed to ca lcu late th e op t im um dop ing con . ten t o f ca lcium ox ide dop ed stann ic ox ide ga s sen so r film s T h e qu an t itat ive ca lcu lat ion re su lt is in acco rdan ce w ith th e exp er i . m en ta l re su lt s : ; ; ; ; Key words ga s sen so r s cry sta l st ru ctu re p rep arat ion m etho d op t im um dop in g con ten t th eo ret ica l 　　　　　ca lcu lat ion 　　氧化物半导体气敏材料及其敏感器件的研制与 质的影响, 长期以来, 人们都是单凭经验做实验, 确 生产已经有很长时间的历史了, 但如何提高传感器 定合理的掺杂含量, 并给出定性的理论解释, 没有关 对气体选择性和灵敏性仍在研究中。在这些研究中, 于最佳掺杂含量定量理论计算的研究报道。本文作 掺杂是提高各种气敏材料性能的永恒的课题, 而掺 者对氧化物半导体透明导电薄膜材料最佳掺杂含量 杂含量对气敏材料性能影响的研究又是这种研究中 问题作过定量理论计算研究, 给出了一个掺