锰钴镍氧浸没式探测器制备及性能-OpenRepositoryofNational.PDFVIP

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锰钴镍氧浸没式探测器制备及性能-OpenRepositoryofNational

34 2 Vol. 34 ,No . 2 第 卷第 期 红外与毫米波学报 2015 4 April ,2015 年 月 J. Infrared M illim . Waves 文章编号:1001 - 9014 (2015)02 - 0161 - 05 DOI :10 . 11972 /j . issn. 1001 - 9014 . 2015 . 02 . 007 锰钴镍氧浸没式探测器制备及性能 1 ,2 1 1 1 1 ,2 , , , , 周 炜 欧阳程 吴 敬 高艳卿 黄志明 (1. , 200083 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 上海 2 . , 200083) 中国科学院空间主动光电重点实验室 上海 : Mn Co Ni O (MCNO) , 摘要 基于化学溶液法制备了尖晶石结构氧化物锰钴镍氧 1. 56 0 . 96 0 . 48 4 薄膜材料 研究了其电学性 , , . 8 m MCNO 质及红外器件的探测性能 包括器件的响应率 时间常数和探测率 制作了厚度为 μ 的 薄膜及红外热敏 , - . MCNO , 探测器件 测量了材料的阻值 温度曲线 制作了基于半球形锗透镜的浸没式 薄膜探测器 具有时间常数较 (~ 18 ms), (~ 4 . 4 × 103 V / W) (~ 5 × 108 cm ·Hz0 . 5 / W) . 小 响应率高 和探测率高 的优点 : ; ; ; 关 键 词 尖晶石氧化物 薄膜 热敏探测器 浸没式 中图分类号:TN21 文献标识码:A Fabrication and performance of Mn-Co-Ni-O thin film infrared detector ZHOU Wei1,2 , OU Yang-Cheng1 , WU Jing1 , GAO Yan-Qing1 , HUANG Zhi-Ming1,2

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