悬臂式坐标测量机误差分离与补偿的研究 study on error separation and compensation for cantilever cmm.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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悬臂式坐标测量机误差分离与补偿的研究 study on error separation and compensation for cantilever cmm

第26卷第5期电子测量与仪器学报眦26No．5 2012年5月 joURNALoFELECTRoNicMEAsUREME^汀ANDINSTRUMENT ·413· DOI：10．3724／SP．J．1187．2012．00413 悬臂式坐标测量机误差分离与补偿的研究宰王晨晨费业泰尚平 (合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，合肥230009) 摘要：对一台自主设计的，专用于连铸结晶器测量的悬臂式坐标测量机进行研究，分析了影响其精度的主要误差源。用齐次坐标变换矩阵建立测量机的几何误差修正模型，并附加了非刚性误差补偿项。使用激光干涉仪和激光跟踪仪将误差模型中的各项误差给予逐项的分离，经计算后代入误差模型进行补偿。实测结果表明，当测量机沿体对角线运动时，其最大位移误差从补偿前的600 lIⅡl因此该补偿方法是有效可行的。 lira降低到50 关键词：悬臂式坐标测量机：几何误差；误差模型：误差分离；误差补偿中图分类号：TH721．1。TN98文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460。4030 for CMM onerror and cant丑ever Study separationcompensation ChenchenFeiYetai Wang ShangPing mold Abstract：A cantilevercoordinate continuous machine(CMM)formeasuring casting self-designed measuring the of machineweie was eITOrsources on studied，main measuring measuring analyzed．Thegeometric impacted accuracy glTOrmodelwasfoundedthe of elTor wasadded．Each theory coordinate，andnou-rigidcompensation by homogeneous andlaser theseeiTorswere aftercalculation．The 咖rwas laserinterferometertracker,then separatedusing compensated measuredresultsdemonstrate machinemove the of maximum that,when along measuring diagonalmeasuringspace，the errorreduceto the ofthemethodis compens