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脉冲高能量密度等离子体材料表面改性及其应用! - 矿业科学学报
物理学和高新技术 脉冲高能量密度等离子体材料表面改性及其应用! ( 冯文然 ! ! 陈光良! ! 顾伟超! ! 张谷令 范松华! ! 刘赤子! ! 杨思泽 (中国科学院物理研究所! 北京! ’%%%)% ) 摘! 要! ! 脉冲高能量密度等离子体(*+,-./ 0120 .3.425 /.3-165 *,7-87 ,9:;9 )是一项新的材料表面改性技术= 它集高电子温度、高能量密度、高定向速度于一身,在制备薄膜时具有沉积薄膜的温度低、沉积效率高、能量利用率 高的优点,并兼具表面溅射、离子注入、冲击波和强淬火效应等综合效应;它可以制备纳米晶或非晶硬质薄膜,提高 基底材料的表面硬度和耐磨、耐蚀性能;能够实现非金属材料表面金属化,所制备薄膜与基底之间存在很宽的混合 过渡区,因此膜 基结合良好= 文章主要介绍了作者近年来在该领域的部分研究成果,简要介绍了脉冲高能量密度 等离子体的原理、特点及应用= 分析了脉冲等离子体与材料相互作用的基本物理现象= 关键词! ! 等离子体,脉冲高能量密度等离子体,综述,表面改性 !#$%’ ()*+$+%,+)- )$ (%,’#+%./ 01 2./’* 3+43 ’-’#41 *’-/+,1 2.%/(% %-* +,/ %22.+%,+)-/ ( ?;@A B.3CD73 ! ! E:;@ A+732CF1732! ! AG B.1CE07H! ! I:J@A A+CF132 ?J@ KH32C:+7! ! FLG E01CI1! ! MJ@A K1CI. (!#$%$$’ () *+,#%-# ,.+%’#’ /-01’2, () 3-%’-’# ,4’%5 %6 ’%%%)% ,.+%0 ) 50/,#%,6 6 9+,-./ 0120 .3.425 /.3-165 *,7-87 (9:;9 )1- 7 3.N 6.O03H,H25 PH4 876.417, -+4P7O. 8H/1P1O7C 61H3 N01O0 OH8Q13.- 0120 .,.O64H3 6.8*.476+4. ,0120 .3.425 /.3-165 ,73/ 0120 R.,HO165= L6 1- O0747O6.41S./ Q5 7 ,HN /.*H-161H3 6.8*.476+4. ,0120 /.*H-161H3 .PP1O1.3O5 ,73/ 0120 T .3.425 +-72. /+4132 P1,8 P7Q41O761H3 ;73/ 1- 7OOH8*731./ Q5 -+4P7O. -*+66.4132 ,1H3 18*,736761H3 ,-0HOU N7R.- ,73/ 136.3-1R. V+.3O0132= W0. 9:;9 6.O0C 3H,H25 O73 Q. +-./ 6H *4.*74. R741H+- 373HO45-67,,13. 73/ 78H4*0H+- 074/ P1,8- ,N160 18*4HR./ -+4P7O. 074/3.-- 73/ N.74 73/ OH44H-1H3 4.-1-673O. HP 60. -+Q-6476.= @H3 T 8.67,,1O 876.417,- O73 7,-H Q. 8.67,,1S./ Q5 601- 6.O0C 3H,H25 = W0. 9:;9 /.*H-16./
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