犓9玻璃亚表面损伤的分步腐蚀法测量 - 光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 ２１ ２ 　 Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１３ ２ Ｆｅｂ．２０１３ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１３０２０２８７０７ 　 犓９玻璃亚表面损伤的分步腐蚀法测量  戴子华，朱永伟 ，王建彬，居志兰，刘蕴锋 （南京航空航天大学 机电学院，江苏 南京 ２１００１６） 摘要：为了消除 酸差动腐蚀法测试中环境因素对测试精度的影响，提出了 酸分步腐蚀法，并引入修正系数 来 ＨＦ ＨＦ 犓犻 对不同腐蚀阶段的环境变化做适当的修正以提高测量精度。采用 酸分步腐蚀法测量了固结磨料抛光垫（ ）研磨 ＨＦ ＦＡＰ 后 玻璃的亚表面损伤层深度，并与 酸差动腐蚀速率法和磁流变抛光斑点法的测量结果进行了对比研究。结果显 Ｋ９ ＨＦ 示，用本文提出的方法测量得到的亚表面损伤层深度为 ３．４７９ ｍ，其他两种测量方法测得的结果分别为 ０．８３７ ｍ和 μ μ ２．８２ ｍ。测量结果表明，分步腐蚀法的测量精度更高，其结果更加符合实际情况。另外测试中引入了实验校正系数 μ 犓犻，很大程度上减少了操作环境及重复操作带来的累积误差。 关 键 词： 玻璃；亚表面损伤；研磨； 酸腐蚀；分步法 Ｋ９ ＨＦ 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＱ１７１．６８４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０２８７ 　　 　　 犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳狊狌犫狊狌狉犳犪犮犲犱犪犿犪犲狅犳犓９ 犾犪狊狊 犵 犵 犫 狊狋犲犫狊狋犲 犲狋犮犺犻狀 犿犲狋犺狅犱 狔 狆 狔 狆 犵  ， ， ， ， ＤＡＩＺｉｈｕａ ＺＨＵＹｏｎｗｅｉ ＷＡＮＧＪｉａｎｂｉｎ ＪＵＺｈｉｌａｎ ＬＩＵＹｕｎｆｅｎ ｇ