时间分辨电子显微镜中放大成象系统的设计.pdf

卷 光 子 学 报 第 第 期 年 月 ‘ 时间 辨电子显 系统的设 分 微镜中放大成象 计 李淑红 憨笨 国 学 西安光学 密机械研 子 西安, 中 科 院 精 究所光电 部 由 、 、 本文 绍 了时间分 电子显徽镜中的放大成 统 该 统 物锐 一 二 中间 摘 要 介 辫 象系 来 第 第 , 镜 影镜 透镜组 电子束交叉 面 于 离投影镜机 中心的 工 且具有细而 长, 及投 等磁 成 其 截 位 远 靴 位 的 该 统可 大于一万倍的放大倍 最大放大倍 可 十万倍 从而 为提 高时间分, , 腰部 来 提供 率 率 达 电子显 镜的空间分 本领和 时间分 了 良 的条 文 中 论 了对该放大成 辫 微 辫 辫率提供 好 件 讨 象系 , 统的 计要求 计方法 最后给 出了设计结果, 设 设 时间分 电子显徽镜 放大成象来统 关链词 辫 引言 、 医 、 、 现代生物学 学 材料科学 超大规模集成电路等研究领域不仅要求诊断工具具有高的空间分辨