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镍的摩擦辅助喷射电沉积过程及沉积效率-中国有色金属学报
第 23 卷第 6 期 中国有色金属学报 2013 年 6 月 Vol.23 No.6 The Chinese Journal of Nonferrous Metals June 2013 文章编号:10040609(2013)06161808 镍的摩擦辅助喷射电沉积过程及沉积效率 1,2 1, 2 1,2 1,2 1, 2 2 朱 军 ,田宗军 ,沈理达 ,刘志东 ,黄因慧 ,王桂峰 (1. 南京航空航天大学 江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京 210016; 2. 南京航空航天大学 机电工程学院,南京 210016) 摘 要:分别使用传统喷射电沉积和摩擦辅助喷射电沉积技术制备一组不同沉积时间的镍沉积层,并采用非接触 式表面三维形貌仪对其表面形貌进行观察,采用 XRD 分析沉积层的晶粒大小和织构随沉积时间的变化,用 TEM 观察沉积层组织机构的不同,通过沉积层的厚度分析对两种方法的沉积效率和稳定性进行比较。结果表明:传统 喷射电沉积镍层随着沉积时间的增加表面逐渐变得粗糙,沉积时间由20 min增加至 120 min 时,粗糙度 R 值由 a 212nm增加至 282nm,而摩擦辅助喷射电沉积镍层可以始终保持光亮平整,R 值由最初的 228nm逐渐减小,并 a 最终稳定在 171 nm 左右;摩擦辅助装置的加入对喷射电沉积效率影响很小,但使沉积的均匀性和稳定性得以提 高;同时,该装置细化晶粒,使平均晶粒大小由 15.6nm减少至 10.9 nm。 关键词:镍;喷射电沉积;摩擦;微观结构;沉积效率 中图分类号:TG662;TQ153 文献标志码:A Process anddeposition efficiency of nickel by friction aided jet electrodeposition 1, 2 1, 2 1, 2 1, 2 1, 2 2 ZHU Jun , TIAN Zongjun , SHEN Lida , LIU Zhidong , HUANG Yinhui , WANG Guifeng (1. Jiangsu Key Laboratory of Precision and Micromanufacturing Technology, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China;
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