硅基底液晶光阀的理论和工艺研究.PDF

第 卷第 期 高 速 摄 影 与 光 子 学 , 年 月 底液晶 阀的理论和工 研究 硅基 光 艺 王 昭 李育 , 国 学 西 研 所 中 科 院 安光学精密机械 究 文介 了一种 空间 调 底液 阀 了 的工 原理 摘 要 本 绍 新型 光 制器 硅基 晶光 卿述 该器件 作 。 一 , 和各 层的 备过程 后 出了两种 面 方法 现 的 膜 制 最 提 薄双 抛光片的 它们是实 该器件实用化 关 键工艺。 关键词 空间光调制器 硅基底 液晶光阀 引 言 间 必 , 空 光调制器是高速并行处理二维信息 不可少的一种元件 从 年代开始作为光 而 , , 立于 信息处理 发展起来 近年来作为光计算机的关键器件更受到重视 也是建 矩阵矢 网 量乘法基础上的光学神经 络中作为 和 列 女夕 两维掩模存贮离散发射 接收阵 之 一尸尸 。 的的的 王圣圣 日日日日 间 互 重 可 少