白光干涉解调光纤MEMS压力传感器pdf.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ４３ １０ 　 　 　 Ｖｏｌ．４３Ｎｏ．１０ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１４ １０ Ｏｃｔｏｂｅｒ２０１４ 　 ＡＣＴＡ ＰＨＯＴＯＮＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ 　 　 ： ／ ｄｏｉ１０．３７８８ ｚｘ１００６００３ ｇ 白光干涉解调光纤ＭＥＭＳ压力传感器 ， ， ， ， ， 江 小峰 林春 谢 海鹤 颜黄苹 张建城 黄元庆 （ ， ） 厦门大学物理与机电工程学院机电工程系 福建厦门 ３６１００５ ： 、 、 ， 摘 要 为 了在强 电磁 干扰 高温 高压 等 恶劣环 境 下 实现 压 力 的测量 进 一 步提 高传 感 器 的 小型化 并降 　 ， ， 低 其 制 作 成 本 提出 并设 计 了一种基于白光 干 涉 解 调 的 光 纤 法布 里 珀 罗压 力传 感 器 实现 了 传 感 器 的 － ， 、 压 力测量 基于 微 机 电系统技术 采用光 刻 阳极键 合 以及 化学 腐蚀 的方 法 制作 了以硅 和 玻 璃 构 成 的 法 ． ， ， 布 里 珀 罗腔 体 使用 二 氧 化碳 激 光 器 对 法 布 里 珀 罗腔 体 与 光 纤进 行 焊 接 基 于 白光 干 涉 解 调 技 术 利 ． － － ， ： 用 斐索干涉仪 与 法布 里 珀 罗腔 体 的互相 关关 系对传 感 器进行 了解调 并做 了压 力 实验 实验结果表 明 ． － ， ／ 传 感 器在 １２０ ３００ｋＰａ范 围 内 具 有 较 高 的 腔 长 变 化 灵 敏 度 和 线 性 度 分 别 为 ９．０１２７ｎｍ ｋＰａ和 ～ 　 ；