粒子与洁净度分级 particles and cleanliness classification.pdfVIP

2010年3月 洁净s空调技术CC~AC 第 1期 粒子与洁净度分级 中国电子学会洁净技术分会 王大千 世源科技工程有限公司 刘 娜 电子行业特种生产环境技术与装备检测中心 王 尧 摘 要 介绍国际标准 《洁净室及相关受控环境》中的基本技术术语和技术概念，以利从业者准确理解并熟悉 应用粒子、洁净度分级、洁净度检测等基本概念。 关键词 粒子；关注粒径；洁净度分级；浓度限值；95％置信上限 ParliclesandCleanlinessCIaSsifjCatiOn W na gDaqian，，LiuNaandW angYao AbstractThebasictermsandconceptsusedintheinternationalstnadardsofCleanroomsandAssociatedControlled environmentsraeexplained．Itisnoteasytounderstandfullyhteusualtemr s，suchasparticle，cleanlinessclassification， andcleanlinessteSt． KeywordsParticle；Consideredparticlesize；Cleanlinessclassification；Concentrationlimit；95％ Upperconfidencelimit 0 引言 ② 在0．1lam至5lam的粒径阈值 (下限)范 我国洁净室技术 已进入发展高潮，纵观洁净 围上累计的固体或液体物质。 技术产业尚属粗放型发展阶段 。一些基础性工作， [ISO 14644-1：1999，2．2．1】 如建立新的标准体系、受控环境的理念的探讨、倡 阈值 (thresholdsize)—— 门槛 ，界限。 导合格评定的管理程式等方面与国际上存在着较大 ③ 在检测方法国际标准中，使用 “空气悬浮 差距。作者在编制我国 《洁净室及相关受控环境》国 粒子 (airborneparticle)”术语 。 家标准 (等 同ISO 14644、ISO 14698系列)的工 即悬浮在空气 中，活 的或死的、固体或液 作中，深有体会 ，本着抛砖引玉的愿望，将洁净室 体、粒径 1nm～100lam的微小物质。 技术一些基本概念性的问题提出来，希望引起从业 [ISO14644—312005，3．2．2】 者的关注，同时给同行一些启发。有疑 问，请查阅 粒径 (particlesize)——粒径测量仪所显示 国际标准原文，文章中术语、公式、图表的出处均 的，与被测粒子的响应量相当的球形体直径 。 有标注。 [ISO 14644—1：1999，2．2．2】 I【SO 14644—3：2005，3．2．8】 1 粒子 (Particle) I【So 14644—6：2007，2．105] 有三种解释 ： 常用技术术语有阈值粒径 (thresholdparticle ① 有明确物理边界的微小物质。 size和关注粒径 (consideredparticlesize)。 I【SO l4644—4：2004，3．7】 “Consideredpartic