流体密封-04[泄漏检测技术].ppt

(1)热传导真空计法 热传导真空计 (热阻真空计和热电偶真空计)是基于低压强下气体热传导与压强有关的性质来测量真空系统内的压力的。此外，还可以利用热传导真空计的读数不仅与压力有关，而且还与气体种类有关的性质来进行检漏，当示漏气体通过漏孔进人真空系统时，不仅改变了系统内的压力，也改变了其中的气体成分，使热传导真空计读数发生变化，据此可检示漏孔的存在。 第 章 3 泄露检测技术 真空检漏法 4.4 4.4.5 真空计法 (2)电离真空计法 大多数高真空系统上都带有电离真空计，此时也可用 它来进行检漏。示漏物质通过漏孔进人系统后，真空计的 离子流将发生变化，由此可测出泄漏率。 第 章 3 泄露检测技术 真空检漏法 4.4 4.4.5 真空计法 (3)差动真空计法 差动真空计法也叫桥式真空计法，检漏装置如图5-9所示。它由两个真空计和一个阻滞示漏气体通过的阱所组成，两个真空计的输出讯号以差分形式输出。检漏前，将系统抽成真空，并将电路调平衡。检漏时，当示漏物质通过漏孔进人系统后，可不受限制地进人第一个真空计内，由于阱的作用，示漏物质进人第二个真空计的量要受到限制，这样，两个真空计的输出讯号就不一致，给出差分讯号，由此便可以指示漏孔存在并给出漏孔的大小。 第 章 3 泄露检测技术 真空检漏法 4.4 4.4.5 真空计法 (3)差动真空计法 差动真空计法中，可采用不同的真空计，如热阻真空计、热电偶真空计、热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计等。相应的讲和示漏气体有氢氧化钙阱，二氧化碳示漏气体;活性炭讲，氢气或丁烷为示漏气体。 差动真空计法的优点是:在使用中由于两个真空计电参数的不稳定，真空系统抽速的不稳定等所造成的仪器噪声得到了补偿，所以检漏灵敏度比单管真空计法高得多。 第 章 3 泄露检测技术 真空检漏法 4.4 4.4.5 真空计法 与前面讲的压力松漏法的工作原理和特点相同。在真空松漏法中，要求将被检测的系统抽到10~0.1Pa的真空度，卤素气体通过漏孔由外向内进入系统中，并进入敏感元件所在空间，并由卤素检漏仪探头检测出来。其最小可检泄露率可达10-9Pam3/s。 第 章 3 泄露检测技术 真空检漏法 4.4 4.4.6 卤素检漏法 在真空检漏法中，氦质谱检漏仪直接与被检系统相连接，被检系统抽真空，并在被检件外施加示漏气体 (氦气)。 示漏物质通过被检件上的漏孔进人检漏仪，被检测出来。真空氦 质谱检漏法的灵敏度比压力检漏法中介绍的氦质谱检漏仪吸嘴法的灵敏度高得多，其最小可检泄漏率为10-12~10-13 pa·m3/s。 第 章 3 泄露检测技术 真空检漏法 4.4 4.4.7 氦质谱检漏法 * * 过程装置在制造或运转的时候，不但需要知道有无泄漏，而且还要知道泄漏率有多大。泄漏检测技术中所指的漏的概念，是与最大允许泄漏率的概念联系在一起的。 泄漏是绝对的，不漏则是相对的。对于真空系统来说，只要系统内的压力在一定的时间间隔内能维持在所允许的真空度以下，这时即使存在漏孔，也可以认为系统是不漏的;对于压力系统来说，只要系统的压力降能维持在所允许的值以下，不会影响系统的正常操作，同样也可以认为系统是不漏的。对于密封有毒的、易燃易爆的、对环境有污染的、贵重的介质，则要求系统的泄漏率必须小于环保、安全以及经济性决定的最大允许泄漏率指标。 第 章 4 泄露检测技术 引言 4.1 检漏就是用一定的手段将示漏物质加到被检设备或密封装置器壁的一侧，用仪器或某一方法在另一侧怀疑有泄漏的地方检测通过漏孔漏出的示漏物质，从而达到检测的目的。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中，判断漏与不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置;在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化 第 章 4 泄露检测技术 引言 4.1 检漏方法的选择时要考虑以下因素： a·检漏原理 不论采用哪种检漏方法，必须理解它的基本原理。泄漏检测方法涉及的内容较广，集中反映了各种计量和测试技术。对许多检测方法的原理都能够理解是不容易的。 b·灵敏度 检漏方法的灵敏度可以用该方法可检测到的最小泄漏率来表示。选择检漏方法时应考虑各种方法的灵敏度，即采用哪种方法可以检测出哪一级的泄漏。 第 章 4 泄露检测技术 检测方法的分类和特点 4.2 4.1