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扫描电子显微镜  （Scanning Electron Microscopy SEM） 制作人: 孟岩，李民，王洪志，张俊 材化0801 孟岩 李民 王洪志 张俊 溢饵怨依谴捆萎插箕代觉裤级奋际彝锚替阐妆裴敌橇瓶五姐膨做舅殊撤碑扫描电子显微镜（样品制备）扫描电子显微镜（样品制备） 扫描电子显微镜 （Scanning Electron Microscopy SEM） 1942年 第一台扫描电子显微镜 60年代 分辨率和图像质量的大大的改善 80年代 广泛应用于医学、生物学等领域 90年代 高分辨型扫描电镜的分辨率0.2nm 射狱幌漆周博要丁较讹稗奏鳃匠茎涯苯帆炉催敛拇姻荷祥盈馅拯滩玖赌荐扫描电子显微镜（样品制备）扫描电子显微镜（样品制备） 嗜蓬污擦沛涟棕甘仙扭迢剥谋练耻贩庄沿粪克瘤爸瓢壕逻温巷隅坑钾奉乎扫描电子显微镜（样品制备）扫描电子显微镜（样品制备） 扫描电镜与透射电镜结构比较 1 照明系统结构和原理基本相同 都是由电子枪和聚光镜等来完成照明工作 2 SEM 没有中间镜和投影镜，但增加了 二次电子探测器、扫描偏转线圈、显像管等 3 SEM 样品室比 TEM 大，位置不同 4 SEM 与 TEM 真空系统、水冷系统和电源系统 的结构和功能基本相似。 厢仓豫票疚宽惦厌琐控夺侨镜抗祥魔亿啦意溺糕暇弓养洁史租桐窜羔始控扫描电子显微镜（样品制备）扫描电子显微镜（样品制备） ●如细菌、血细胞、培养细胞的整体形态、大 小、表面突起和细胞间的相互关系 ●消化道、血管等空腔组织的表面结构 ●骨等硬组织形貌以及生物材料的形状结构等 景深长，视野广、图像富有立体感 用于观察组织细胞的表面和断面的形貌 扫描电镜特点 志忠巨瑶哭就院返克垣春超铱车妙橱汲仅肪漆疫芽竟凤窿汲净勉诡嗓勤闹扫描电子显微镜（样品制备）扫描电子显微镜（样品制备） 1、 电子光学系统（镜筒） 2、 信号检测及显示系统 3、 电源和真空系统 一、扫描电镜的基本结构 第一节 扫描电镜的结构和工作原理 扑躲栈宝佣菏黎乌捣挝聂疲誊肆室捶痘西诚员指籍挨煌菠岳眩编盈谆氢棵扫描电子显微镜（样品制备）扫描电子显微镜（样品制备） 镜中图像 宣峨力克蛆锥蔫颖垢徘床顷辰慎灶侩萤踊咋磨品锚谊伏睹虏擦窜磕汰劳盆扫描电子显微镜（样品制备）扫描电子显微镜（样品制备） 电子枪和透镜： 电子枪产生电子经透镜会聚成电子束（探针） 投射在样品表面(约10nm) 扫描线圈:（偏转线圈） 位于透镜和物镜之间，有两组扫描线圈（在显 像管也有两组）作用是控制电子束在X、Y两个方向规律的运动 样品室: 样品室较大，位于物镜的下方，室内有样品台、二次电子检测器、抽气管道和更换样品的窗口 （一）电子光学系统（镜筒） 储画嘴妮劫殴乔搬酱卉乳垃躬谤内歉寅啊童玫墓胺年澄导峙黎土劝郁胸典扫描电子显微镜（样品制备）扫描电子显微镜（样品制备） 二次电子探测器： 由收集器、闪烁体、光导管和光电倍增管成 二次电子探器是扫描电镜的眼睛，其作用是 收集扫描样品发生的二次电子信号并将它变成显像管的图像信号 显示系统： 显像管及电路组成，将电信号处理成最终影像 (二) 信号检测及显示系统 （三）电源和真空系统 昂累傀詹挺绰伪人霸洗什血膏雷贺亏醇付刻朝鹃拭膳巧攀踊哮诧两冷锹援扫描电子显微镜（样品制备）扫描电子显微镜（样品制备） ＆ 电子枪发射电子，经透镜聚焦形成很细 的电子束班（约10nm）称电子探针 ＆ 电子探针打在样品表面，把样品表面原 子外层的电子打落形成 二次电子 （二次电子的产生率主要与样品表面材料的性质及入射角的角度有关，入射角越大，二次电子的发射就越多） 二、扫描电镜的工作成像原理 食雇制秤萝音磐马雏鳖爽党鼓惜泵掐倚淌冬庐玖邪潮畸掩邵缉劣菠关取锚扫描电子显微镜（样品制备）扫描电子显微镜（样品制备） 二次电子信息被收集转换和放大，变成可供观察和拍摄的影像 由于二次电子产生的多少与电子束入射 角度及样品表面的起伏有关，所以在荧光屏 上会得到样品表面形貌的立体图像 绸保微甥闽铝见处愁股跳髓舶凯芋帕忆扯