玻璃衬底二氧化钒薄膜的宽频带太赫兹波调制特性-强激光与粒子束.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 28 2 Vol.28 No.2 年 月 , 2016 2 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Feb. 2016 玻璃衬底二氧化钒薄膜的宽频带太赫兹波调制特性* , 12 2 3 3 1 2 2 1 陈 晨 , 罗振飞 , 蒋亚东 , 吴志明 , 孟庆龙 , 杨存榜 , 周 逊 , 张 彬 ( , ; , ; 1.四川大学 电子信息学院 成都 610064 2.中国工程物理研究院 激光聚变研究中心 成都 610041 , ) 3.电子科技大学 光电信息学院 电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054 : ( ) , 摘 要 针对二氧化钒 薄膜在可调谐太赫兹功能器件中的应用 采用磁控溅射法在 玻璃衬底 VO2 K9 , ( ) 。 上制备了 薄膜 并用 射线衍射 对薄膜的晶相进行表征 利用配备加热装置的太赫兹时域光谱系 VO2 X XRD ( ) 、 。 , 统 THzTDS研究了薄膜样品在变温过程中的THz反射 透射光谱特性及其变化规律 实验结果表明 随着 - , 。 加热温度的升高 薄膜发生半导体 金属相变并对宽频段 波产生显著的调制作用 调制深度明显依 VO2 - THz , 、 ; 赖于THz频率 薄膜样品对 THz波反射功率 透射率的幅度调制深度在 0.3~0.5THz范围波动较大 对 , , 。 , , THz波的透射率在低频处较大 高频处较小 调制深度在 35%~65%之间变化 该薄膜制备简单 质量高 可 应用于太赫兹开关和调制器等功能器件。 : ; ; ; 关键词 二氧化钒 太赫兹 时域光谱系统 调制 THz 中图分类号: 文献标志码: : / TB43 A doi10.11884HPLPB201628.023104