MEMS微波_毫米波TaN薄膜负载电阻的设计与实现_李倩.pdfVIP

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2017-08-10 发布于浙江
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MEMS微波_毫米波TaN薄膜负载电阻的设计与实现_李倩.pdf

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MEMS微波_毫米波TaN薄膜负载电阻的设计与实现_李倩

第５卷第期微纳电子技术Ｖ４５ｏｌ．５４Ｎｏ．５　　年月２２０１７５ＭｉｃｒｏｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＴｅｃｈｎｏｌｏＭａ０１７　ｇｙｙ　　櫴毷櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴毷ＭＥＭＳ与传感器毷櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴毷／Ｍ微波毫米波Ｔ薄膜负载ＥＭＳａＮ电阻的设计与实现１２２１，，拥军，李倩汪蔚杨杨志　　　（，；１专用集成电路重点实验室石家庄．５００５１０　中国，）２．电子科技集团公司第十三研究所石家庄５００５１０　摘：工／，要开展了一种基于ＭＥＭＳ艺的微波毫米波薄膜负载电阻的结构设计和工艺实现该负载，，，电阻选择ＴａＮ作为薄膜材料高阻硅为基底材料仿真设计并优化了三种新型结构给出了一薄膜负载电，套ＭＥＭＳＴａＮ阻制备的工艺流程并针对该工艺流程方案进行了关键参数的工艺误