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低气压介质阻挡放电击穿特性的研究 study on breakdown characteristic of low pressure dielectric barrier discharge
第 期 电 子 学 报 11 VOI . 34 NO . 11 年 月 2006 11 ACTA ELECTRONICA SINICA NOV . 2006 低气压介质阻挡放电击穿特性的研究 凌一鸣 （东南大学电子工程系，江苏南京 210018 ） 摘 要： 实验研究了在 、 、 中低气压低频介质阻挡放电的击穿特性 这种介质阻挡放电的电流波形是一 He Ne Ar . 系列脉冲，它是由外电场作用下的电子繁流和壁电荷电场对繁流的猝灭作用的结果 考虑了击穿过程中带电粒子的扩 . 散损耗，实验研究和理论分析表明其击穿电压明显高于按 Paschen 定律计算所得结果，并分别依赖于气压和极间距离， 而不是两者的乘积. 离子诱导二次电子发射系数和击穿瞬间的电子平均能量也可用测量其不同极间距离的击穿特性 来近似地确定，本文讨论了这种放电击穿特性的实验结果和理论分析. 关键词： 介质阻挡放电；气体放电；击穿特性；击穿电压 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 0461 A 0372-2112 2006 11- 1966-04 Study on Breakdown Characteristic of Low Pressure Dielectric Barrier Discharge LING Yi-ming （ ， ， ， ， ） Dep artment of Electronic Engineering Southeast Uniuersity Nanj ing Jiangsu 210018 China ： （ ） Abstract Breakdown characteristics of the low-freguency dielectric barrier discharge DBD at low pressure are investigated experimentally in He ， Ne and Ar . The current waveform of this DBD is a series of pulses that is caused by
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