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氮化铝陶瓷粉末的制备方法及展望 research development of synthesis. methods of aluminum nitride powder

20 邹东利等:氮化铝陶瓷粉末的制备方法及展望 绝缘材料2006,39(5) 氮化铝陶瓷粉末的制备方法及展望 邹东利,阎殿然,何继宁,董艳春 (河北工业大学材料学院,天津300132) 摘要:论述了国内外氮化铝陶瓷粉末的主要制备方法,铝粉直接氮化法、AlD,碳热还原法、化学气相沉积法、溶胶一凝胶 法、自蔓延高温合成法和等离子化学合成法,分析了这几种制备方法的特点和研究进展及发展方向。 关键词:氮化铝;制备;陶瓷粉末 中图分类号:TM28;TQl33.1;TQl26.2文献标志码:A 文章编号:1009—9239(2006)05一0020一04 Research of DeVelopmentSynthesis,Methods NitridePowder ofAluminum ZOU Dian—ran,HE Yan—chun Dong—li,YAN Ji—ning,DONG (SchoolofMaterialsScience.Hebei of 300132,China) UniversityTechnology,Tianjin Abstract:Some methodsin aluminumnitrideceramic werede- majorsynthesis preparing powder direct ofaluminum 3carbothermic scribed,includingnitriding powder,AID method,chemicalVapor and chemical method, synthesisplasma syn- deposition,sol—gel self—propagatinghightemperature thesis.Thecharacteristicsandresearch ofthesemethodsare anddevel- progression presented. trendsaredescribed. opment words:aluminum Key nitride:preparation:ceramicpowder 1引言 原子运动限制了纯AlN在常规温度下的完全烧结, 480 氮化铝(AlN)是一种具有纤锌矿型结构形态的而AlN在高温(分解温度为2K…)下的分篇是难 难熔化合物【l】。晶格常数口=3.11,f=4.980,舢原以获得AlN致密体的主要原因。高的烧结压力和添 子与相邻的N原子形成岐变的[NH。】四面体,沿C加烧结助剂,以获得细小的粉末粒度和窄的粒度分布 轴方向的Al—N键长为1.917A,另外三个方向的是提高AlN烧结性能的关键。A1N粉末在制备和储 Al—N键长为1.885A。A1N的理论密度为存过程中极易和空气中的水分及氧气发生如下水解 3.26 3,莫氏硬度7~8。 和氧化反应【5’61: g/cm 氮化铝材料的优点是室温断裂强度高,且断裂

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