第02章 柱弧离子镀制备Ti_TiN_Ti(N,C)_TiC黑色硬质膜.pdfVIP

真空科学与技术学报 第26卷第4期 OFVACUUMSCIENCEAND 2006年7．8月 JOURNAL TECHNOIDGY(CHINA) 马胜歌卜 姜翠宁2 ，1．深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心深圳518029；、 ＼2．深圳新南亚技术开发有限公司 深圳518029 ， GrowthofBlackHardFilms of吖驯田(N，C)／TiC Ion Arc byCylindricalPlating Ma Shenggel”andJiangCuinin92 RD CenterforSurfaceEngineering ／1．National ofChina，Shenzhen，518029，Ch／na；＼ Co．，脚．，Shenzhen，518029，‰， ＼2．Shenzhen删NanyaTechnologyDevelopment AbstractMechanicalandmicrostmcturesofblackhardfilms OHindustrialscale properties ofTi／TiN／Ti(N，C)／TiC，grownbycylinQi- calarcion 011substrateswithdifferenthardnessourhomemade characterized．Ata plating using apparatus．we糟tentatively depo— preliminarily sitionrateofO．78 of islandwasobservedOHthesulfac髓．ThetroubleisthatthekIr【lnessofthesubstratesand t,Hn／h．highdensitylliⅡshaped of results tIlicknessthe films interferewiththemeasuredofitsmechanical multilayerconsiderably properties． Blackhard arcion films Keywords films，Cylindrical plating，TiC，Multilayer 于14％，亮度值三’小于43，沉积速率约为0．78珊n／h，表面分布较多液滴缺陷。膜的力学性能测试受基体硬度和膜层厚度影 响较大，基体越硬、膜层越厚，膜的硬度以及与基体的结合力测试结果越大。YW2硬质合金基体上制备0．82肿的黑色硬质膜 N。该设备和工艺已成功应用于工业生产。 显微硬度日v(25。)=3229，结合力为26．70 关键词黑色硬质膜柱弧离子镀TiC多层膜 中图分类号：TB43