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固体表面物理化学 俄歇电子能谱 2005/9/16 - 1 Surface Materials Group, CCME,PKU 固体表面物理化学 主要参考书 1. D. P. Woodruff and T. A. Delchar, Modern Techniques of Surface Science, Cambridge, 1986. 2. D. Briggs and M. P. Seah, Practical Surface Analysis, John Wiley and Sons, Inc., 1983. 3. 华中一，《真空实验技术》，上海科学技术出版社，1986。 4. 高本辉，崔素言，《真空物理》，科学出版社，1983。 5. 王华馥，吴自勤，《固体物理实验方法》，高等教育出版社，1990。 6. E. Lifshin (editor), Characterization of Materials, VCH, 1994. (叶恒 强等译，《材料的特征检测》，两卷本，科学出版社，1998) 7. 黄惠忠等著，《论表面分析及其在材料研究中的应用》，科学技术 文献出版社，2002。 8. 王矜奉，《固体物理教程》，山东大学出版社，1999。 9. A. T. Hubbard (Editor), The Handbook of Surface Imaging and Visualization, CRC Press, 1995. 2005/9/16 - 2 Surface Materials Group, CCME,PKU 固体表面物理化学 俄歇电子谱历史 俄歇电子，是以其发现者Pierre Auger 的名字命名的。1925年Auger 在做Wilson 云室实验时观察到俄歇效应，并对其作了正确的解释。 1. 1925年Auger发现俄歇效应后，由于信号很弱，很长一段时间没人 对此效应感兴趣。早期，人们用X －射线作为激发源。 2. 1953年，Lander采用电子束激发的Auger 电子谱（AES ），并分析 了应用于表面分析的可能性，这才引起人们注意研究AES 。 3. 1967年，Harris采用锁相放大器（Lock-in-amplifier ），将Auger 电 子信号有效地抽取出来，出现了商业化的AES 。 4. 1969 年，Palmberg 与合作者采用筒镜分析器（CMA ，Cylindrical Mirror Analyzer ），使得信噪比大大提高，AES从此广泛应用于表 面分析，成为表面科学最基本和最必要的研究技术。 5. 上世纪八、九十年代，微区成像技术的发展，使得人们开发出具 有兼备成分分析和空间分辨能力的扫描俄歇微探针（SAM， Scanning Auger Microprobe ）技术，可以对表面进行二维分析。 2005/9/16 - 3 Surface Materials Group, CCME,PKU 固体表面物理化学 俄歇电子谱原理 当一个原子中的一个芯级（core level ）电子被激发出去后， 形成离子，这个离子处于高激发态，能量上不稳定，见图4.1 。 为了达到稳定的能量状态，离子中会发生一系列的变化过程， 这一过程称为去激发（de-excitation ）过程。其中一个过程是， 一个在高能级的电子来填充被激发的那个电子所留下的空穴， 并释放出能量。这种释放出的能量，会导致第二个电子的激发。 这被激发的第二个电子，就是Auger 电子。产生Auger 电子的原 子，最终变成有两个空穴的双重电离的离子，参见图4.1和4.2 。 实际上，在释放Auger 电子的时候