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年 月 西安电子科技大学学报(自然科学版)
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第 卷 第 期 ! !
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!#$工艺中栅耦合%$ 保护电路
杜 鸣! 郝 跃
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!西安电子科技大学 宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室陕西 西安 #
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摘要!为了克服大尺寸静电放电损伤防护元件存在的不均匀导通情况!提出了一种改进的静电放电损
伤保护电路方案 该方案利用栅漏交叠区的结扩散电容作为耦合元件!电容耦合作用使大尺寸元件在静
-
电放电损伤事件发生时能够均匀导通!从而有效提高静电放电损伤保护电路的抗静电能力-
关键词!静电放电损伤电容耦合保护电路
中图分类号! 文献标识码! 文章编号! #
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