划片机中的高刚度动静压气体径向轴承.pdf

轴承2010年10期 !曼型!鲤Q二!Z丝 5—7 CN41—1148／TH2010，No．10 Bearing 划片机中的新型高刚度动静压气体径向轴承 魏明明，卢志伟，刘 波，张君安 (西安工业大学 机电工程学院，西安710032) 摘要：为了提高精密划片机主轴系统的旋转精度和刚度，设计了一种带有可变节流器与可变均压槽相结合的动 静压气体径向轴承，通过气膜压力反馈使弹性薄板产生变形，控制节流器与均压槽参数发生变化，从而提高轴 承刚度。详细介绍了该轴承的结构、工作原理与工作过程，并与普通双排八孔动静压空气径向轴承的承载力和 刚度特性进行了对比试验分析，结果表明该新型轴承的承载力和刚度均明显高于普通轴承。 关键词：气体轴承；刚度；承载力；气膜压力反馈；弹性薄板；节流器；均压槽 中图分类号：THl33．35文献标志码：A 文章编号：1000—3762(2010)lO—05一03 ANew of Stiffness andStaticPressuriedAir TypeHigh Dynamic Journal in Used Saw Bearing SophisticatedDicing WEI Zhi—wei，LIUBo，ZHANGJun—an Ming—ming，LU ofMechatronic 710032，China) (School Engineering，Xi’anTechnologicalUniversity，Xi’an of orderto therotation andstiffness of new Abstract：Inimprove accuracy spindlesystemsophisticateddicingSaW，a of stiffness andstatic air withvariablerestrictorand isde- typehish dynamic pressuriedjoumalbe撕ng pressuregroove ofthe isthattheair reactioninthe makestheelasticmem- signed．11leprinciplebearing pressure bearinggap working brahetotake the ofrestrictorand under deformation，whichbrings groove control，increasing place parameter pressure thestiffnessofthis and ofthis areintroducedinde- beariIlg．11lestructure，workingpn’ncipleworkingprocess bearillg tail．ne andthisnew of stiffness are resultsshowtha