压电驱动五自由度奈米级微动平台循迹控制(II).PDF

行 度奈 精 類 行 年年 行 立 沈金 參理葉 理 年 ■ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 壓電驅動五自由度奈米及微動平台尋跡控制(II) 計畫類別：■ 個別型計畫 □ 整合型計畫 計畫編號： NSC 97－2221－E－150－043－ 執行期間： 9 7年8月1日至 98年7月31日 計畫主持人：沈金鐘 共同主持人： 計畫參與人員：葉佐鵬 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：■精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、 列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位：國立虎尾科技大學自動化工程系 中 華 民 國 九 十 七 年 七 月 三 十 一 日 摘要 達到較佳之精密定位以及循跡結果。 本計劃之目的在設計一個五自由 度奈米級微動平台之循跡控制器。此 磁滯反模型[1] 平台採積木式設計，由六支壓電驅動 96 年計畫，主要在採用四種測試 器驅動，因此整個系統有六個輸入、 訊號，使用此四種測試訊號，來建構 六 個 輸 出 。 控 制 器 利 用 改 良 式 PI 磁滯模型，並以實際建模以及抵銷 Prandtl-Ishlinsjii 反磁滯模型加上 測試結果來找出最適合的PI模型，圖 順滑模態控制器與 H ∞ 控制器控制平 一為我們找到較適合的PI模型與反模 台。本文分別採用順滑模態與 H ∞ 來設 型，表一為實際抵銷測試之誤差表。 計控制器，循跡解析度達到0.1奈。 前言 在邁入二十一世紀的新時代中各 項科技產業均蓬勃發展，尤其是在 「奈 米科技」方面更是國家科技發展的重 點，而要從目前的微米級領域進入奈 米級的科技研發領域過程中，奈米量 測技術與奈米平台定位控制技術是奈 圖一、以訊號 B測試之結果及求得之 米研究中不可獲缺的關鍵性技術，例 PI模型 如在光電深蝕刻製程、光電通訊工程 中的光纖自動組裝技