用于大气环境中的氮等离子体枪放电特性及束流强度 - Journal of.PDF

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2017-08-04 发布于天津
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第25 卷第2期东北大学学报 ( 自然科学版 ) Vol125, No. 2 2004 年 2 月 Journal of Northeastern U niversity( Natural cience) Feb. 2 0 0 4 : 1005-3026( 2004) 02-0201-04 刘军友, 孙凤久, 严平沅, 闫伟 ( , 110004) : , , , , , e-e-; , 5 mm , 012 3 m / h, , # : ; ; ; ; ; : O 531 : A [ 1,2] [ 3] [ 4] # [ 5] # # , 1 (APG) [6,7] , [8~ 10] 1 ( ICP) , # [ 11] : ( CF) , # [6, 8,9] Cu ( d = 2 mm) # Fe , # # , , # , , , , ,, , # , # # , , FeN TiN 1 Fig. 1 Experiment setup , : 2003- 07-05 : ( # : ( 1978- ) , , , ; ( 1942- ) , , , , # 202