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特殊马达ppt讲座 18

静电电动机;WHY?;HOW?;哈佛和麻省理工联合研制的一种基于MEMS硅基深反应离子刻蚀(DRIE)以及静电感应驱动原理的微电机。 ; 电容可变型静电电动机分为直线型和旋转型两大类,其中旋转型又可分为顶驱(轴向驱动)型、侧(向)驱动型以及摆动型。;英国赫瑞瓦特大学研制的一种(顶驱)轴向静电电动机的截面图;清华大学微电机研究所研制的硅基微静电马达(侧驱) ; 摆动型静电电动机;Driving system (变电容静电电机);Driving system ;Driving system ;Driving system ;Driving system ;Driving system ;Driving system ;characteristics;History;国内研究现状;国外研究现状;国外研究现状;国外研究现状;SUMMARY;瘪榴宁厉橱装氢躇馆鸣澡桔锨药贵住妮凤书惧赁瞅藐郁趾你羚胶念勃纯蚀特殊马达ppt讲座 18特殊马达ppt讲座 18

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