HPS-170 用于重负载的高精度线性平台 - Physik Instrumente.PDF

HPS-170 用于重负载的高精度线性平台 优异的重复精度和运动精度 行程范围为52至205毫米（2至8） 最大速度高达100毫米/秒 负载能力达35千克 可选配线性编码器用于直接位置测量 参考级线性平台 交叉滚柱导轨带来高运动精度和负载能力。精密滚珠丝杠。应力消除铝基座可实现高稳定性。非接触 式限位开关 驱动器类型 − 电机轴上带旋转编码器的闭环直流伺服电机 − 2相步进电机可实现高转矩（即使低速时）和高分辨率 带直接位置测量的版本 − 集成线性编码器，安装在导向装置之间。运动平台的直接位置测量，动力传动系统中的机械 游隙或滞后对定位精度无影响 最小位移 结合SMC Hydra控制器，带步进电机和集成线性编码器的版本可在传感器分辨率范围内实现可重复的最小位移 。同样的配置可实现几传感器增量每秒的恒定低速。 应用领域 用于工业和科研的精密定位，如检验任务和计量。 06.07.2017 10:16 规格 626291x0 626292x0 62629xx1 单位 公差 带直流电机和旋转 带步进电机的线性 同样带线性编码器 编码器的线性平台 平台 （直接位置测量） 运动轴 X X 运动和定位 行程* 52 / 102 / 155 / 205 52 / 102 / 155 / 205 毫米 集成传感器 旋转编码器 – 线性编码器 设计分辨率 0.1 10 （全步） 0.05 微米 最小位移 0.2 0.1 0.05 微米 典型值 单向重复精度 0.2 0.2 0.05 微米 典型值 空回 2 2 - 微米 典型值 双向重复性 - - ±0.05 微米 典型值 串扰，角度误差xry （螺距） ±20 / ±25 / ±30 / ±35 ±20 / ±25 / ±30 / ±35 微弧度 典型值 串扰，角度误差xrz （偏转角） ±40 ±40 微弧度 典型值 最大速度 100 35 毫米/秒 机械特性 丝杠螺距 2 2 毫米 滚珠丝杠 负载容量 350 350 牛 最大 推拉力