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洁净室干净规格
Gowning Rule Why Why Why;Why5:為何不可攜帶一般紙張,立可白,鉛筆,橡皮擦進入潔淨室? 原因:一般紙張,立可白,鉛筆,橡皮擦…等會產生大量粉塵,污染晶片.;;;Why14:在無塵室中,任何材料(含控片,試片,擋片)之放置高度均不得低於幾公分?為什麼? 原因: 40公分,因為人員走路時,會產生大量粉塵,易造成晶片污染. Why15:為何手套上不可寫字? 原因:原子筆的墨水,會沾染到你所觸碰的器具間接污染晶片.;Why18:為何不可用手碰觸晶片? 原因:手上有粉塵,若直接碰觸晶片會污染晶片. Why19:為何2A與1B往來均須經過AIR SHOWER? 原因:有經過10K走道,粉塵控制程度不同.;Why20:為何不可從中抽取晶片? 原因:容易造成刮傷,導致晶片良率(D0值)差. Why21:為何不可在推車下層做轉換? 原因:因上下層間高度不夠,容易撞破片且推車低於60公分,有粉塵污染之虞; Why25:在FAB內眼鏡滑落算不算違規?為什麼? 答案:算,因長期工作,眼睛會產生分???物,若眼鏡沒戴好,無法有效阻擋分泌物掉落到晶片上 Why32:那一個操作區可以將眼鏡拿下?為什麼? 答案:INSPECTION,縮短眼睛與顯微鏡的距離,可增加視角(視覺範圍). ;Q1:那些特殊製程晶片應使用特殊之晶舟裝載? 答案: Co,Cu等製程 Q2:為什麼無塵衣,鞋遺失時不可私自挪用他人的無塵衣鞋? 答案:會造成他人找不到無塵衣鞋導致延誤進線. Q3:關於無塵衣鞋事務申請可洽詢那一個單位?分機為何? 答案: KEY-IN CENTER 分機: 1718 / 1719 Q4:Class1 無塵室0.1um Particle 管制上限制(發警告單)/規則上限制(shout down 機台)為何? 答案:25/35
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