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第 27 卷  第 3 期 半  导  体  学  报 Vol . 27  No . 3 2006 年 3 月 C H IN ES E J O U RN AL O F S EM I CON D U C TO RS Mar . ,2006 一种有机/ 金属肖特基二极管的实验研究 郭文阁  张延曹  郑建邦  任  驹 ( 西北工业大学理学院 光信息技术实验室 , 西安  7 10072) 摘要 : 提出了一种简单有效的有机/ 金属肖特基二极管的制备方法 :通过简单的真空气相沉积工艺 , 依次将有机材 料 P TCD A ( C24 H8 O6 ) 薄膜和金属电极 A u 蒸镀在透明导电玻璃 I TO 上. 通过在室温条件下对该二极管的电流电 ( ) 4 ( ) 压 IV 特性的测试发现 , 其整流系数可达 10 . 根据标准 肖特基理论以及实验所得 电容频率 Cf 和 电容电压 ( CV) 的测试结果 , 得到该有机肖特基势垒高度在 02~03e V 范围内. 关键词 : 肖特基二极管; 气相沉积; 有机薄膜; 电容频率 EEACC : 2560 H 中图分类号 : O475    文献标识码 : A    文章编号 : 02534 177 (2006) 有机薄膜器件在某一频率时的电阻和电容可以 1  引言 写成 : 2 X Rp = + R 肖特基二极管广泛应用于无线电通信系统 、射 R (2) 电天文学 、雷达技术以及等离子体诊断学等领域. 然 Cp = - 2X 而 ,对于无线电通信系统 、卫星接收器或者汽车远距 ω( X + R) 离雷达中价格低廉的大规模集成电路 , 基于 GaA s   在实际测量中 ,常使用叠加了直流偏压的较小 ( ) 的无机 肖特基二极管存在功耗高 、灵敏度低等缺 的交流电压 幅值为 20mV . 在一定直流偏压下改 点[ 1 ,2 ] . 自从 Ta n g 关于 pn 结有机太阳能电池中的 变交流电频率 ,测出不同频率下的 R 值和 X 值 ,可

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