硬质纳米复合薄膜的热稳定性、抗氧化性与韧性 - 中国表面工程.pdfVIP

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第卷第期中国表面工程年月硬质纳米复合薄膜的热稳定性抗氧化性与韧性捷克金德里奇缪塞尔西波西米亚大学应用科学系捷克比尔森摘要综述了纳米复合薄膜的硬度增强特性和热稳定性在高温条件下的抗氧化性和热稳定性在射线下呈非晶态的薄膜在高温条件下的热稳定性以及具有高韧性新型硬质纳米复合薄膜的相关性能这些新型高韧性硬质纳米复合薄膜具有较低的等效弹性模量高弹性恢复系数优异的摩擦学性能以及良好的抗断裂能力等效弹性模量为弹性模量为泊松比关键词纳米复合薄膜硬度与韧性热稳定性抗氧化性能抗断裂性能磁控溅射中图分类号文献标识码文

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 26 4 Vol.26 No.4           年 月 2013 8 CHINASURFACEENGINEERING Auust 2013

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