surface segregation in pd-si thin films 钯–硅(pd-si)薄膜表面偏析 .pdfVIP

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2017-09-06 发布于天津
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材料科学钯硅薄膜表面偏析研究陈煜黄立豪杨士栋邹永恒姜国利王江涌汕头大学物理系广东汕头收稿日期年月日录用日期年月日发布日期年月日摘要本文应用修正的模型结合考虑薄膜尺寸效应的约束条件对合金薄膜的平衡态及动态表面偏析进行了模拟计算其中偏析参数即偏析能和相互作用系数分别由模型和相图计算方法获得结果表明尺寸效应对合金薄膜体系偏析的影响不是很明显文章引用陈煜黄立豪杨士栋邹永恒姜国利王江涌钯硅薄膜表面偏析研究材料科学陈煜等关键词表面偏析修正的模型尺寸效应薄膜二元合金引言近年来金属硅薄膜因其在半导体器件领域的广

Material Sciences 材料科学, 2016, 6(6), 334-345 Published Online November 2016 in Hans. /journal/ms /10.12677/ms.2016.66044 Surface Segregation in Pd-Si Thin Films Yu Chen, Lihao Huang, Shidong Yang, Yongheng Zou, Guoli Jiang, Jiangyong Wang Department of Physics, Shantou Univ