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微系统集成技术研究的动向 - 光学精密工程
6 4 Vol. 6, No. 4 1998 8 OPT ICS AND PRECISION ENGINEERIN G August, 1998 钟先信 李建蜀 肖沙里 徐 涛 朱维安 ( 重庆大学微系统研究中心 重庆630044) 缪秀娥 ( 华南 工大学机电工程系 广州510641) , , 1 , , , , , ( 1) ( M icro-Fig . 1Illust rat ion of Micro-o to-electro-mechanical systems : 1997- 07- 21 : 1998- 04- 21 2 6 o to-electro-mechanical systems M icrosystems) , , , 1995 60 , 6 , 25% 2 , , , , , SiGaAsInP LiNbO3( ) , , , , , , , , , , ( 1) , , , , , , , , 15 , = 0. 85 0. 6, cm m , , , , / 120 : -; ; ( 2) - , , , , LIGA - , , - Sol gel , , , / , , , Merit fun , , : , , ( 80%) 4 : 3 ( 3) , , Fresnel , , , , , (4) , , , , , GaAs , , , , , , , , , , 80 , , , , , Q , kW , 1ns , , , 3 , , , , , , , , , , , , : ( 1) , , , , , 4 6
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