利用溅射原子角分布规律改进平行板静电场法! - 物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 $ ’ %##: ’ ， ， ， /KL -$ JK - ’ 9M*NO %##: （ ） ###8’%G#A%##:A$ #’ A :!8#! .7). 6HI217. 21J17. %##: 7O+C - 6OPB - 2KN - 利用溅射原子角分布规律改进平行板静电场法 谢国锋 （湘潭大学材料与光电物理学院，湘潭 !#$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %## ’ %’ %## ! ( 用)*+, 程序计算溅射原子的角分布规律，发现溅射原子出射角服从过余弦分布，利用这一规律，改进了收集方 法，使得离子收集效率大大提高- 关键词： ，离子引出，溅射 ./012 ： ， !## $%($ $%’$ 量和 轴的夹角），表示方位角 本文利用 程 # - )*+, 3 引 言 序进行计算，计算结果对 和 构成的空间给出了 ! 溅射原子的分布 在垂直入射条件下，溅射原子的分 - 在原子蒸气激光同位素分离（ ）工程中， 布对于方位角 是各向同性的，如图 所示（入射离 ./012 目标同位素被激光选择性电离后，在电磁场的作用 子为 = ，能量 ， 靶）那么溅射产额的角分 ; ’ ?/ 7@ - 下向收集板运动 激光等离子体离子引出是原子蒸 布就只与 相关 定义 （）为溅射产额的角分布， - ! - ! ! A% % 气激光同位素分离系统的重要一环，快速低耗高收 ! ! （） （） （） ! B+C D ! - !! ! ! ! 集率地将激光选择性电离产生的目标同位素离子引 # #