W1045 应变仪式进气歧管绝对压力传感器的结构与工作原理.PDF

W1045应变仪式进气歧管绝对压力传感器的结构与工作原理 物体在承受应力作用而变形时 ，长度发生变化 ，电阻也会随着变化 ，应变仪式进气歧管 绝对压力传感器是根据此原理设计的。如图2-51所示 ，应变仪式进气歧管绝对压力传感器 的主要元件是一个很薄的硅片 ，其外围较厚 ，中间最薄。硅片上下两面各有一层二氧化硅膜。 在膜层中沿硅片四边有四个传感器电阻。在硅片四角各有一个金属块 ，通过导线与电阻相连。 硅片下部有一真空腔与进气相通。硅片上的四个电阻连接成桥式电路。当进气歧管压力变化 时 ，硅膜片随之发生变形。此时传感器电阻的阻值即随之发生相应的变化 ，使桥式电路输出 正比于进气压力的电压信号。控制单元根据该信号即可测出进气歧管的压力。这种传感器不 受较大范围温度变化的影响。 图 2-51 应变仪式进气歧管绝对压力传感器