ITO透明导电膜的制备和性能.pdf

航 　空 　学 　报 Vol . 17 No . 1 第17卷 　第1期 　 　 1996年 　　1月 ACTA A ERONAU TICA ET A STRONAU TICA SIN ICA J an . 　1996 I TO 透明导电膜的制备及性能 岳锡华 　赵 　屹 　张维佳 (北京航空航天大学 102 教研室 , 北京 , 100083) PREPARATION AND PROPERTIES OF ITO TRANSPARENT COND UCTING FILMS Yue Xihua , Zhao Yi , Zhang Weij ia ( Faculty 102 , Beijing Univer sity of Aeronautics and Astronautics , Beijing , 100083) 摘 　要 　研究了用直流反应磁控溅射法在无机玻璃基片上制备 I TO 透明导电膜的工艺 ; 测试 了膜的电阻率 、对可见光的透射率及对垂直入射微波的反射率和透射率 ; 研究了反应溅射时 氧浓度 、溅射后退火气氛对电阻率和透光率的影响 ; I TO 膜方块电阻对微波反射率和透射率 的影响 。 关键词 　I TO 半导体 　膜 　溅射 　电阻率 　透射率 　反射率 中图分类号 　V254 2 , TQ 13353 Abstract 　A process used to prep are I TO transp arent conducting films on inorganic glass substrates by d . c . reactive magnetron sputtering is presented . The resistivity , visible light transmittance , reflec tivity and transmittance to p erp endicularly incidenting microwaves of t he film have been measured . The effect s of O2 concentration during reactive sputtering and annealing at mosp here after sputtering on resistivit y and visible light transmittance , and t he effect of square resistance on reflectivity and trans mittance of microwaves have been studied . Key Words 　I TO 　films 　sputtering 　electrical resistivit y 　transmissivity 　reflectance 　　I TO ( Indium Tin Oxide) 膜由于其低电阻率 、高可见光透射率 、与玻璃基体结合牢 固、抗擦伤 , 良好的化学稳定性等优点 , 得到了越来越广泛的应用 。近年来 , I TO 膜还被 用作飞机座舱玻璃散射雷达波的隐身涂层 , 将雷达波散射到非有效空间方向 , 从而缩减了 飞机座舱的雷达散射截面 RCS 。此外 ,