1k级洁净室空调系统调试分析.pdfVIP

2009年3月 洁净s空调技术cc＆AC 第l期 1k级洁净室空调系统的调试分析 水 广东机电职业技术学院童蕾 南海奇美电子有限公司 李伟强 南方医科大学 陈超敏 摘 要 介绍IK级洁净室空调系统特点，并就通过空调系统调试，维持洁净室内的温度、湿度．洁净度及正 压环境策略和实践进行讨论分析。 关键词 洁净空调系统；温度-湿度。压力 in 1KCle1Room of aClass CommissioningAir-ConditioningSystem Lei，Li andChenChaomin Tong Weiqiang in theschemeand AbstractRecommendscharacteristicsofclean aClass1Kcleanroom．Discuss air-conditioningsystem of room and condition—giventemperature；humiditypressure． pracdcemaintaining clean system；Temperature；Humidity；Pressure Keywordsair-conditioning 在电子行业中晶圆厂与半导体厂对生产环境要 1999年国际标准化技术协会公告发行ISO厂rC 求最为严格，生产环境的温度、湿度、洁净度直接 209国际通用标准，将洁净室分成9个等级，级别 影响产品的质量和寿命，都要求控制在特定的范围 分类见表l。采用SI制单位，lk级即英制中的1000 1 级，室内环境中1ft3、0．5m的微伞颗粒不超过 内。在LCD(LiquidCrystalDisplay)液晶显示 ’ · 器的制程中要求生产环境洁净度达到1k级，温度 1000颗。， ． 控制在23℃±2C，湿度控制在55％±5％，根据 表1洁净级别 这个要求对某LCD液晶面板制程车间(工业洁净 ISO／ Fed．Std．209E 微小粒限制 TC209 0．1啪 室)进行完工调试。