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La ser Opt oe le ct ro nics Pr o gr ess C 48, 0 82202 ( 2011) 20 11 超光滑光学表面加工技术发展及应用 马占龙 刘 健 王君林 ( , 1300 33) , , , , , ; ; ; ; T G356 2 8 A doi: 10 . 3788/ LOP48. 0 82202 Development and Application of Ultra-Smooth Optical Surface Polishing Technology M a Zhanlong Liu Jian Wang Junlin ( Sta te Key L abor at or y of Applied Optics , Ch an gchu n In st itu te of Optics , Fin e M ech a nics a n d P hy sics , Chinese Academ y of Scien ces , Ch an gchu n , J ilin 1300 33, Chin a ) Abstract Ultra-smooth surfaces ar e wi dely used in the fiel d of optics and the polishing method is an important component of super-precision technology. Fir stly the characteristi cs of ultra-smooth surfaces ar e introduced and the classifi cation and comparison of the polishing methods are made . It is shown that the non-contact method is the ideal ultra-smooth surface polishing technol ogy . Then the existing ultra-smooth surface polishing technologies ar e summarized and the machining mechanism pr ecision and appli cati on spectrum ar e expounded. At last the gap of ultra-smooth surface polishing technologies at home and abr oad is pr esent and the tr end of the technol ogy is described. Key words optical fabri cati on; ultra-smooth; opti cal surfaces; r oughness; polishing OC S codes 220 . 4 610 ; 220 . 5450; 240 . 5770 1 , R a 0 012 m , , X , , [ 1, 2] 1 nm, 1 nm , , , 0 3 nm, , , , 2 , 1 , , : 2011- 03- 21; :
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