超声键合换能器的研究——回顾与展望 - 声学技术.pdfVIP

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2017-09-02 发布于天津
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超声键合换能器的研究——回顾与展望 - 声学技术

第卷第期声学技术 , 25 3 Vol.25 No.3 年月 , 2006 06 TechnicalAcoustics Jun.2006 超声键合换能器的研究———回顾与展望周铁英清华大学物理系北京 ( , 100084) 摘要回顾了超声键合用换能器的发展状况特别是在我国的研究状况对超声键合用换能器的研究方法进行了总 : , 。结例如等效网络法直接解振动与波动方程法有限元法不少单位已经编制了等效网络法的计算程序可以迅速 , 、、。 , 准确地得到细长和简单换能器结构的频率特性和导纳曲线利用有限元软件可以计算复杂结构的换能器特性是当 ; , 今设计仿真的有效工具论文结合当前微电子集成芯片对超声键合的大量需求展望了超声键合换能器的发展前。、 , 景除高频换能器和小体积的换能器需要进一步研究外性能更加稳定和优良的换能器依然是研究的热点。 , 。关键词超声键合换能器品质因数研究方法 : ; ; ; 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) TB559 A 100003-0258-04 Developmentandprospectofultrasonicbondingtransducer ZHOUTie-ying ( , , ) DepartmentofPhysics,TsinghuaUniversityBeijing100084China : Abstract Thispaperreviewsthedevelopmentofultrasonicbondingtransducer, speciallythe developmentinChina.Methodsusedinthestudyofultrasonicbondingtransduceraresummarized, suchasequivalentnetwork,directsolutionofthevibrationandwaveequations,andfiniteelement method(FEM).Programsforthenetworkmethodhavebeendevelopedbymanyresearchers,whichcan beusedtocalculatefrequencyandadmittancecharacteristicsoflongandthintransducersrapidlyand accurately. FEM