一种基于激光直写的水浊度传感结构 - 光子学报.pdfVIP

第 卷第 期 光 子 学 报 ３９ ８ 　 　 　 Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．８ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１０ ８ Ａｕｕｓｔ２０１０ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｇ 文章编号： （ ） １００４４２１３２０１００８１４１８６ 一种基于激光直写的水浊度传感结构 李书，方可嘉，吴兴坤 （浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心，杭州 ３１００２７） 摘 要：提出并制作了一种基于激光照射改变折射率方法的光度比浊度传感单元，综合了导波光学 　 及检测相关知识原理 以 光敏树脂为基底材料，采用“气体干法”除胶及分步固化的方法获得 ． ＵＶ 了该芯片化结构 传感器整个制作过程仅仅需要 因而使本方法具有很高的效率 由直写 ． ７ ８ｍｉｎ ． ～ 成型的单元组建传感系统对标准悬浊液样品进行了实验测试，所得的相关数据在 ＳＩＳＯ算法神经 元网络系统中进行处理，获得了传感器浊度与对应散射系数的关系曲线 通过试剂检验的方法得知 ． 实际相对误差在 左右 ５％ ． 关键词：激光直写；高聚物；浊度分析；神经网络 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＮ２５６ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ１４１８ 　　　　 　　　　 ｇ ０ 引言 浑浊度传感元件制作周期极短，并且由于材料普通 　 能够使得造价甚为低廉． 浑浊度（ ）是衡量饮用水质量的一个 Ｔｕｒｂｉｄｉｔ ｙ １ 器件结构设计及测试原理 重要指标，国内目前的标准是低于１ＮＴＵ，而发达国 　 ［ ］ 家如美国的标准是低于 ０．３ＮＴＵ，实际值甚至已达 ３４ 生物检测芯片 的特征是在固体芯片表面构 到０．１ＮＴＵ．人们对此标准的努力追求的突出原因 建微流体分析单元和系统，从而使系统尽可能精细 是：浑浊度直接体现水中肉眼不可见的浮游植物 化，最终实现整个实验或测试装置在小区域的高度 （ ）等悬浮体的密度，而此类悬浮体目 Ｐｈｔｏｌａｎｋｔｏｎ 集成 本文遵循 标准中关于水浊度测试方 ｙ ｐ