第一章绪论 - 公开取用电子书.pdf

第一章 緒 論 1.1 產業背景 歷年 1995 年 IC 2,143 1997 年 2,479 率 15.7% 1998 年 金暴 度 IC 不度更 力 率 度 益 量易 料 了 料利 率例 料 (Process Residual Gases) 理 (Central Scrubber Systems)理 數 立理 (Local Scrubber Systems) 理 理 降量 流 理 降 不理 不 更 不 料 理 若 理 1 年行 理 1.2 相關法規 理 不 度 行量 聯 度量 1.2.1 年 1-1 理 理 率量 1.1 列 1.1 * 率 量 90% 0.6kg/hr 90% 0.02kg/hr 95% 0.6kg/hr ** 硫 95% 0.1kg/hr *狀 率量行 ** 理率量 2 硫 理 1.1 列 列 a. pH 7 2/hr b. 0.1m c.留 0.5 d.90m2/m3 流量連 理 流量連 1.流量 2.年量 50 度 3.量 0.6kg/hr 度 4.流量度 率 80% 年 流 量度 了列 1-2 a.不率不率 20% 40% 20%累不 3 b. 列 3 1.2.2 (PFCs)量 1992 年聯 降 量識 1997 年都 度 不 2000 年 量 CO2 CH4 NO HFCs PFCs SF6 PFCs(Perfluoro-compounds) HFCsSF 料 6 (Semiconductor Industry Association, SIA) PFCs 料列來年