太赫兹裂环谐振器的改进型TL-RLC模型 - 北京玛格泰克科技发展有限.PDF

年增刊 ( )卷 290 2012 Ⅱ 43 太赫兹裂环谐振器的改进型TL-RLC模型∗ 1 1 1 1 1 2 , , , , , 阳元江 谢 强 张 平 张 青 李 胜 杨邦朝 　 　 　 　 ( , ; 1.中国振华集团 云科电子有限公司 贵州 贵阳 510018 , ) 2.电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室 四川 成都 610054 : 摘 要 利用现代光刻技术工艺制备了一种圆形和 改进型 模型及第 个谐振频率的提出可 　 　 　　 TL-RLC 3 , 。 两种分别在 和 方向伸展的椭圆形裂环谐振器 并 帮助设计出更为适用的裂环谐振器 x y , 在太赫兹时域系统进行测试 比较了尺寸结构参数和 2　设计及制作 , 、 耦合系数对幅频特性的影响 提出包含 LC谐振 偶极 子谐振和第 个谐振的改进 模型使模型与实 本文中所涉及的裂环谐振器的设计都基于电裂环 3 TL-RLC 。 , 验数据更为吻合 并对第 个谐振频率的表达式进行 谐振器 通过结构对称设计达到消除或最大抑制磁响 3 [,] 89 讨论。 应 。高阻高纯本征硅在太赫兹频段具有低的吸收 [ ] 10 : ; ; , , 关键词 裂环谐振器 改进型 模型 太赫兹 率 而且其折射率波动较小可以认为是 所以 　 TL-RLC 3.418 中图分类号: ; 文献标识码: 选定其为基底材料。 种裂环谐振器平面示意图如图 　TN6O44 A 3 : ( ) , , , 文章编号 1001-97